泽伊塔ZETA-20三维光学轮廓仪价格：2.00元/套 最小起订量：2 套 供货总量：2 套 发货期限：自买家付款之日起30天内发货 有效期至：长期有效
Zeta三维光学轮廓仪Zeta-20 卓越的三维成像和测量基于ZDot™专利技术，Zeta-20可以对近乎所有材料和结构进行成像分析，从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。Zeta-20使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求，所有硬件安装和操作都简单易用。
多功能光学测试模组Zeta-20提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求ZDotTM Z点阵专利三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术，Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量最“困难”的表面。ZIC 干涉反衬成像技术，实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。
ZSI 白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达埃级。ZX5 白光干涉技术，大视场下纳米级高度的理想测量技术。ZFT 反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
测量通道和精度
| ZDOT | ZX5 | ZiC | ZSi | ZFT | |
| 粗糙度 > 40nm | √ | ||||
| 粗糙度 < 40nm | √ | ||||
| 大视场、Z方向高分辨率 | √ | ||||
| 15nm - 25mm台阶高度 | √ | ||||
| 5nm - 100µm台阶高度 | √ | ||||
| < 10nm台阶高度 | √ | ||||
| 缺陷：尺寸 < 1µm，高度 < 75nm | √ | √ | |||
| 缺陷：尺寸 > 1µm，高度 < 75nm | √ | ||||
| 30nm < 薄膜厚度 < 15µm | √ | ||||
| 薄膜厚度 > 15µm | √ |
| Zeta-20标配系统 | 硬件和软件可选项 | |
| 测试系统 | 超大深度成像 | 标准物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150× |
| 标配Z点阵(ZDot) | 特殊物镜：长工作距离，浸没物镜，TTM物镜 | |
| 双高亮度LED光源 | 白光干涉模组（ZX5)：X5物镜，压电陶瓷载台 | |
| 真彩色CCD相机(1/3"),1024×768像素 | Nomarski模组(ZIC)：棱镜，起偏器，检偏器 | |
| 30帧/秒，数据采集 | 反射光谱膜厚测试模组(ZFT) | |
| 单耦合镜，四种规格可选 | 白光差分干涉技术(ZSI)：0.5Å分辨率，0.1nm台阶高度测试能力 | |
| 5物镜手动转台 | 高分辨率相机(1/2",1920×1440像素) | |
| 自动聚焦 | 背光LED | |
| 最大25mm垂直扫描/次(20×，长工作距离) | 自动物镜识别/6物镜自动转台 | |
| 40mm垂直工作距离(可扩展至100mm) | 耦合镜：1×，0.63×，0.5×，0.35× | |
| 载台和卡盘 | 手动XY载台(100mm×100mm) | 手动150mm×150mm载台 |
| 高精度Z轴传动 | 自动100mm×100mm载台 | |
| 可配置载物台(开放设计) | 压电陶瓷载台（0.2nm步距，100µm传动距离） | |
| 倾斜载台(±20 deg) | ||
| 高精度倾斜载台(±6 deg) | ||
| 手动旋转载台 | ||
| 卡盘适用尺寸：2"-8"圆形，5"或6"方形 | ||
| 硬盘卡盘：65mm-95mm | ||
| 适于背光卡盘 | ||
| 可定制特殊卡盘 | ||
| 软件 | 非接触测量台阶高度，表面粗糙度，特征尺寸，如直径，面积，体积等 | ZMORF先进的数据分析软件 |
| 允许同一视场中存在超低反射率(﹤0.5%)和超高反射率(﹥85%)区域 | 最大4"晶圆曲翘度测量 | |
| 透明/半透明材质测量 | 膜厚测试光谱仪，可见光(适用于膜厚30nm-10µm) | |
| 透明或半透明多层结构分析 | 自动图像拼接 | |
| 高粗糙度和高深宽比结构分析 | 自动多点量测 | |
| 自由调节水平测量 | 先进软件分析包 | |
| Ra，Rq，Rz，Rsk，Rk以及其它ISO4287参数 | 离线分析软件 | |
| Sa，Sq，Sz，Ssk，Sk以及其它ISO25178参数 | 多种应用Recipe： | |
| 基于颜色和高度的区域筛选分析 | PSS量测 | |
| 三维成像软件，可进行滤波，真假色切换，缩放，旋转等 | 金刚线 | |
| 定制的报告格式 | 金刚石研磨垫 | |
| 简易文件管理和多格式数据输出 | 太阳能单晶/多晶绒面 | |
| 时间：30秒内/点 | 太阳能细栅线 | |
| 太阳能主栅线 | ||
| 太阳能电池片曲翘度 |